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반도체
   
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DL-S20
웨이퍼 캐리어 검출
진공조의 뷰 보드(View Board) 너머 웨이퍼 캐리어를 검출.
PF-R03S
세정기의 웨이퍼 캐리어 검출
내약품성이 요구되는 PFA 케이스의 앰프내장형 센서를 사용.
ASW-SG Series
웨이퍼 일괄 검출
웨이퍼 카세트에 장착된 웨이퍼 유무를 한번에 검출.
GN-M2RS
웨이퍼 캐리어 검출
웨이퍼의 반송중 검출.
FX84BC / FA200
웨이퍼 notch 검출
동축반사형 화이버와 렌즈를 조합하여 검출.
FR706BC
300mm웨이퍼의 맵핑 검출
웨이퍼 노치(notch)부에 영향없는 검출가능.
GTSH·GTH Series
진공조 내의 웨이퍼 검출
투과형 화이버를 V자형으로 설치하면 배경 물체 및 색 변화등의 영향을 덜 받는 한정반사형이 되어 보다 안정된 검출이 가능.
ASG-S20R / ASG-Z15R
로보트 핸드 매입 센서
액정 그래스(LCD)반송의 로보트 핸드에 매입하여 그래스 유무를 검출.
FTVN5BC
웨이퍼위치 검출
웨이퍼 검출로 캐리어의 이동을 제어.
GA-M3R
웨이퍼 캐리어안의 웨이퍼 검출
웨이퍼의 유무검출.
PF-T3DS
세정조 내의 웨이퍼 검출
수조내의 검출을 위해 PFA 케이스의 앰프 내장형 센서를 사용.
US-R25
그래스 웨이퍼 검출
초음파 센서로 물방울 등이 맺힌 웨이퍼도 검출.
FT105BC
진공챔버 내의 LCD기판 검출
뷰 보드(View board) 너머 정반사방식으로 검출.
FZV8301BC-1
그래스 기판 검출
로보트 앞에 설치하여 한정반사형 방식으로 정확한 검출.
FTN5BC
그래스 기판의 돌출 검출
US-1AH
카셋트 내의 기판 유무 검출
이동장치에서 그래스 기판의 잔량을 검출.
LT20RB
진공내의 그래스 기판 검출
반도체 레이저의 빔특성을 이용해 뷰보드(View board)너머에 있는 액정 그래스 기판을 검출.
ASW-GB2621-D
그래스 기판의 일괄 검출
카세트에 장착된 그래스 기판을 일괄 검출.
SSC-T800 Series
로보트 핸드 검출
그래스 기판을 이송하는 로보트 핸드를 검출하여 X Y 스테이지를 정지.
FVPC7322
진공장치 내의 DVD 디스크 검출
반사형 광도입 핀을 사용해 간단하고 확실히 검출.
UM-T50DTV
레지스트액의 잔량 검출
투과방식으로 액 있을때 차광, 없을때 입광 되도록 설정.
F70AR / FVR7390 / FVD7680C / F7389
플라즈마 디스 플레이용 그래스 기판 검출
진공챔버내의 그래스 기판 검출.
FX84BC / FA240
IC프레임의 피치 홀 검출
렌즈 유니트를 사용함으로써 작은 홀도 확실히 검출.
DL-S10R
캐리어의 종류 판별
투명 아크릴판 너머에 있는 캐리어의 크기를 판별.